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第四章TFT-LCD 產業實務分析

前段的Array 製程與半導體製程相似，製程但不同的是將薄膜電. 晶體製作於玻璃上，而非矽晶圓上， ... 如鍍膜設備方面主要以日本ULVAC、美國AKT 及瑞士Unaxis 為主，.

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