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半導體產業

半導體. ※晶圓廠的設備. ※化學傳送系統. ※幫浦、閥件、過濾器...等. ‧特殊的酸類及電漿(PLASMA). ‧高真空. ‧低污染. ‧低溢出氣體. ※乾製程設備：TEL、LAM、AKT.

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