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無塵室- 潔淨設備 - 華湧科技

將外界空氣以組合式空調箱(AHU)初步過濾後，經風管送至無塵室天花板(氣艙)，再由高覆蓋率之HEPA過濾器充分潔淨，自天花板由上而下垂直吹入作業區，剩餘空氣由高架地板吸入 ...

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