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XPS 、AES、UPS、EDS 四大能譜分析介紹，材料人必看！！！

b. 而在損傷點，表面的C,O含量很高，而Si, N元素的含量卻比較低； c. 說明在損傷區發生了Si3N4薄膜的分解。 2 ...

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