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如何利用表面分析工具，抓出半導體製程缺陷 - TechNews 科技 ...

在一般材料分析應用中比較熟知的掃描式電子顯微鏡（SEM），主要目的是觀察表面的高低起伏形貌或尺寸量 ... 氧化、腐蝕或污染之奈米薄膜鑑定- AES/XPS.

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