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半導體材料分析技術與應用

質譜儀：Such as SIMS，用質荷比鑑定元素種類. 能譜儀：用電子或X-射線的能量鑑定元素種類 ... 材料分析儀器中，唯一俱備現場切割能力的儀器。 ... AES儀器原理.

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