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X光繞射——半導體新材料特性分析利器- 電子技術設計

此外，在ALD成長的極薄膜厚度，亦可利用XRD中的X光反射光譜(XRR)技術進行厚度分析，如圖5為在SiO2基板成長極薄膜Ru的反射光譜，經過軟體擬合(Fitting)的 ...

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