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二次離子質譜儀(SIMS) - MA-tek 閎康科技

SIMS 另一主要應用為表面成份污染分析，如球型陣列封裝基板中金屬墊之污染監控，然而受限於入射離子束 ... Time-of-Flight SIMS [ TOF-SIMS M6 plus, IONTOF GmbH ].

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