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飛行時間型二次イオン質量分析計（TOF-SIMS） - UBE株式 ...

原理 ・特徴. TRIFT V nano TOFの原理. 試料に10～30kVで加速されたパルスイオンを照射し、試料表面から放出される二次イオンを飛行時間で質量分析することで、水素を ...

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