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TOF-SIMSとは - 表面分析情報 - Ulvac-Phi

原理. 飛行時間型二次イオン質量分析法（TOF-SIMS：Time-of-Flight Secondary Ion Mass Spectrometry)は、固体試料にイオンビーム（一次イオン）を照射し、表面から ...

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