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超純水系統UV 光去除微量TOC 效率影響評估 - 國立交通大學 ...

TOC -UV 為超純水製造系統中常見之單元，其主要功能為利用波長185 nm 的紫外光(Ultraviolet, UV) 達到超純水中有機物質降解的效果。本研究目的即為評估超純水系統 ...

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