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STI 淺 溝 槽 絕緣
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半导体行业(一百二十九)——形成器件和集成电路(十一)
有的叫浅沟槽隔离(shallow trench isolation),就是解决由标准的局部氧化隔离带来的“鸟嘴”问题。在这种结构中,元器件之间用刻蚀的浅沟槽隔开,然后 ...
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「STI 淺 溝 槽 絕緣」
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