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STI 淺 溝 槽 絕緣
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半導體溝道是什麼意思 - 上海市有色金属学堂
STI 技術工藝步驟:首先,類似LOCOS,依次生長SiO2淀積Si3N4塗敷光刻膠,光刻去掉場區的SiO2和Si3N4。其次,利用離子刻蝕在場區形成淺的溝槽。
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