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STI 淺 溝 槽 絕緣
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羅門哈斯開設亞洲技術中心,為尖端CMP 應用提供支援
... 正與主要客戶聯手打造先進技術和新一代CMP 應用,如先進的32nm和22nm節點超低介電常數銅、淺溝槽隔離技術(STI)、鎢(W) 研磨和層間絕緣(ILD)。
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