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STI 淺 溝 槽 絕緣
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先進節點化學機械研磨液優化:研磨液,介電層,邏輯晶片 ... - CTIMES
在淺溝槽絕緣層(STI)的製程下中,由於針狀結構翼變薄、變長,研磨液需具有極高選擇性(>100:1 Ox:SiN),以將氮化矽損失降至最低。
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