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STI 淺 溝 槽 絕緣
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浅沟槽隔离(STI)刻蚀工艺条件优化-手机知网
浅沟槽 隔离技术是一种新的MOS集成电路隔离方法,它可以在全平坦的条件下消除局部氧化(LOCOS)技术的“鸟嘴”缺陷,绝缘层可以更厚,可以减少电极间的漏电流和承受更大的击穿 ...
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