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製程整合簡介

淺溝槽絕緣 （STI） 1. ... 早期的絕緣技術，為整面全區覆蓋式氧化層(Blanket Field Oxide)，再來是矽的局部氧化，就是所謂的(LOCOS)，第三是淺溝槽 ...

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