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一新能克服自我加熱效應及浮體效應的多晶矽薄膜電晶體製作

此篇論文主要是利用淺溝槽絕緣技術( STI )，挖洞形成一大的深寬比，然後. 填入熱傳導係術佳的材料以解決自我加熱效應的問題，其截面圖顯示於Fig.

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