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STI 淺 溝 槽 絕緣
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國立中興大學機械工程學系
平坦化的理想,致使著CMP 技術的精密化也逐漸被受期待。總括來說,CMP 目前應用於半. 導體技術大約可分為:1.溝槽電容製程2.淺溝槽隔離(STI)3.層間絕緣膜製程4.
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