淺溝槽絕緣 (STI, USG) 側壁空間層(USG) 金屬沉積前的介電質層(PMD, ... 氮化矽矽阻擋氧化層USG 槽溝蝕刻槽溝填充USG CMP; USG 退火; 氮化矽和襯墊氧化層剝除STI製程中 ...
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