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半導體化學氣相沉積膜厚之預測使用神經網路

可沉積絕緣材料或金屬材料的薄膜，通常薄膜是依造晶圓. 表面圖形而沉積。 ... 淺溝槽絕緣(Shallow Trench Isolation，STI)：淺溝槽絕緣(STI)應用在相鄰.

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