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Reticle Loadport - 樂華科技股份有限公司

Reticle Loadport. 光罩承載台. 開鎖、開蓋裝置使用氣缸驅動, 控制和維修變得更簡單。 夾爪模組增加限位導正功能和地震時的防墜防護提升運送過程的安全性與穩定性。

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