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光掩模(Reticle/Mask)颗粒探测系统PR-PD2HR - HORIBA

作为PD系列的一员，本设备提供高功能性对应多种Reticle和掩模版颗粒物监测任务，同时也可在高速输出的条件下进行Glass面及Pellicle面的监测。PR-PD2HR可对半导体工厂的 ...

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