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光掩膜:在半導體製造的整個流程中 - 中文百科知識

光掩膜有掩膜原版(reticle mask，也有稱為中間掩膜，reticle作為單位譯為光柵)，用步進機重複將比例縮小到master maks上，套用到實際曝光中的為工作掩膜(working ...

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