UBM蝕刻製程一般使用單晶圓旋轉蝕刻(Single Wafer Spin Etcher)設備,如圖2所示為 ... PCB工業之應用上最常使用之銅蝕刻液為氯化銅,為了維持蝕刻速率之穩定,必須要有 ...
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