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微系統類LIGA 製程光刻技術 - 儀科中心

類LIGA 製程是以不同於同步輻射X 光的光源. 進行光刻術，主要的替代性光刻法有紫外光微影(5-7)、. 準分子雷射微加工(excimer laser micromachining)(8-10) 及. 反應性離子 ...

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