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Lam CVD
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光刻胶镀膜工艺将改变?传Lam Research开发新型沉积法镀光 ...
据悉,Lam Research研发的新型技术采用了沉积镀膜的方式,通过化学气相沉积(CVD)或原子层沉积(ALD)制成的,这会引起腔室内的化学反应以诱导薄膜 ...
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