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IGS（模组化气体供应系统）

IGS 即模组化气体供应系统（Integrated Gas System），曾获得2005年度内阁总理大臣表彰，并且在第一届产品制造日本大奖中荣获优秀奖。此产品在半导体液晶等行业各种设备中 ...

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