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PFIB去層先進製程晶片局部去層找Defect 可用何種工具 - iST宜特

具備停點偵測機制(End point monitor)，加上SEM影像及時輔助，可精準判斷去層的停點位置。 ... 操作者經驗, 高度仰賴操作者經驗, 容易SOP化 ...

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