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High-k膜技術 - SCREENホールディングス

High -k 膜とは、従来のSiO2 よりも比誘電率の高い膜である。これは次世代の半導体素子のゲート部分に使われる。High-k 膜が必要になる理由は、右図のようにゲート膜が ...

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