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半導體製程 高介電（ High K）材料的介紹 - 國立臺灣大學化學系

特別是當半導體製程進入0.13µm 以後的世代，高介電（High K）薄膜將會. 在半導體工業㆖的記憶體應用扮演極為重要的角色。本報告首先將針對常見的高介電材料—BaTiO3 的 ...

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