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HDP CVD
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[반도체/8대공정]비전공자와 함께 공부해보는 박막, 증착 공정 ...
물리적 (PVD) / 화학적 (CVD) 인 방법들을 통해 웨이퍼 위에 막을 입혀준다. ... 2-2 ) 고 밀도 플라즈마 화학 기상 증착 ( HDP-CVD).
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