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第一章緒論 - 國立交通大學機構典藏

(Plasma Enhance Chemical Vapor Deposition)為研究對象，討論隨著製程演進而發生 ... 刻，電漿增強式化學氣相沉積(PECVD)和高密度電漿化學氣相沉積(HDP-CVD)廣.

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