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半導體化學氣相沉積膜厚之預測使用神經網路

化學氣相沉積(Chemical Vapor Deposition, CVD)被廣泛的應用在半導體 ... 三、產品配方參數蒐集：本研究以HDP-CVD 高密度電漿化學氣相沉積製程.

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