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以Groove-first 製程步驟製作U型槽與波導

在以往on-chip的製程經驗中，U-groove皆是在製作完波導後製作。 ... 可以在製作U-Groove時同時避免氮化矽應力問題，並且可以避免掉氧化矽的蝕刻同時量產出多片U-Groove ...

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