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InGaAs FinFETs and Vertical Nanowire MOSFETs

Best InGaAs FinFETs nearly match 14 nm Si MOSFETs. MIT (V. DS. =0.5 V) g m ... III-V VNW MOSFET process flow. 31 also Ni. Page 32. 32. D=7 nm InGaAs VNW MOSFET ...

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