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Pfeiffer Vacuum - 高效粒子監測 - 光學及半導器材專家

即使是測量值為0.1 μm 的最小粒子，也可能會損壞半導體芯片的結構。創新的ADPC 302 可測量晶片傳送載體內的粒子數量（前開式晶圓傳送盒FOUP，前開式裝運箱FOSB）。全 ...

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