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半導体ウェーハ搬送容器：FOSB・FOUPの違い

FOUP はFront Opening Unified Podの略で、300mmウェーハを装置内に搬送・搬入する際に使用されるBOXです。 前述のFOSBよりもウェーハ保持機構が弱く、 ...

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