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FOUP Stocker 晶圓傳送運輸系統 - 盟立自動化

高密度自動存取機，可對具晶圓盒系列FOUP / FOSB 、封裝測試系列Tray承載盤、玻璃基板卡匣等做搬運，能透過OHT、AGV、人工作業等設備進行上下料、暫存及晶圓傳送運輸。

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