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前開式晶圓傳送盒:介紹,發展 - 中文百科全書

每個FOUP都有各種連線板，銷和孔，以便FOUP位於裝載連線埠上，並由AMHS（自動物料搬運系統）操縱。 FOUP也可能包含RF標籤，允許讀者通過工具，AMHS等識別它們。 FOSB是 ...

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