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使用ALD沉積之FIB-TEM觀察

ALD（Atomic Layer Deposition）沉積法能夠進行超薄沉積而不造成Pin hole，使其適合沉積在. 複雜的精細形狀。此方法作為FIB-TEM觀察之前處理，可以觀察到具有高縱橫比 ...

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