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用於厚硅外延層的EPI 腔體 - Applied Materials

機動承載盤轉軸: Applied Centura Epi 系統最多可容納三個全新設計的腔體。在每個腔體中，每片晶圓都擱於承載盤上的凹槽中，承載盤隨著前體氣流噴 ...

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