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晶圓的製作

改善前製程所留下的微缺陷. 提高晶圓平坦度. 微粒不易附著. Page 27. Page 28. 晶圓直徑. Page 29. Page 30. Page 31. Page 32. Page 33. 磊晶（epitaxial）晶圓 ...

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