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Plasma - EPI - 棨揚企業有限公司

APPLICABLE / 適用制程：, MOCVD , EPI , 外延, 大流量氫(H2)等多粉塵製程 ... 電漿水洗式尾氣(廢氣)處理機- EPI製程含大量TESO & SiH4 & H2 & 腐蝕氣體等相關製程專用.

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