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共濺鍍薄膜沉積系統Co-Sputtering Deposition System - 微奈米 ...

以物理氣相沉積（Physical Vapor Deposition, PVD）的方式來沉積薄膜，通常以濺鍍法（Sputtering）和蒸鍍法（Evaporation）為大宗。談到濺鍍（Sputtering Deposition） ...

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