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氣相沉積法 - 中文百科知識

化學氣相沉積（CVD）是半導體工業中套用最為廣泛的用來沉積多種材料的技術，包括大範圍的絕緣材料，大多數金屬材料和金屬合金材料。從理論上來說，它是很簡單的：兩種 ...

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