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等离子CVD的构成例（W35系列）

通过2根辊子之间发生的放电等离子CVD方法，对树脂基膜等基材采用卷到卷方式进行组隔膜・硬化膜镀膜的PECVD卷绕镀膜机。 薄膜以及柔性基材上镀SiOx（硅膜），实现 ...

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