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半導體廠化學氣相沈積（CVD）與DeviceNet監控系統應用

CVD 會在晶圓片上長出薄膜，薄膜的成份有可能是矽、二氧化矽或其他金屬. 材料，但這些材料不僅會附著在晶片上，也附著在反應室內的「牆壁」上，內. 牆上的二氧化矽累積至 ...

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