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Bonding 中文
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http://www.naipo.com/Portals/1/web_tw/Knowledge_Center/Research_Development/publish-35.htm
北美智權報第94期:3D IC晶圓接合技術
目前能夠應用於3D-IC整合的晶圓接合製程,則包括:(1)熔融接合(Fusion Bonding);(2)金屬熱壓接合(Metal Thermal Compression ...
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