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奈米級歐傑電子能譜儀(Nano-Auger) - 貴重儀器中心- 清華大學

能量分析儀採Cylndrical Mirror Analyzer (CMA) 加上multichannel detector; 離子鎗電壓為100~5000eV; Energy resolution = 0.5%; SEM resolution = ...

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